Az RSM műszaki tanácsadója megosztja Önnel a hengeres és sík alakú magnetronos porlasztó céltárgyak előnyeit?Más magnetron porlasztó céltárgyakhoz képest a hengeres és sík alakú magnetron porlasztó célok megtartják a téglalap alakú sík céltárgyak bevonatának jó egyenletességének előnyeit, és a következő két módon maximalizálják a célok kihasználását:
(1) Amikor a céltárgy felületén lévő gyűrű alakú gödör két csoportja (négy) elér egy bizonyos mélységet, a célmag (mágnesrész) 45°-kal elforgatható a célcsőhöz képest úgy, hogy a célcső többi része amelyek nem korrodáltak, használhatók;
(2) Ha a hengeres és sík magnetron porlasztó céltárgy célmagja forgó célmagnak van kialakítva (a célmag porlasztás közben forog), a céltárgy felülete rétegenként, gödrök nélkül egyenletesen porlasztható le.Ekkor a célpont kerül felhasználásra a leghatékonyabban, és a céltárgy felhasználási aránya elérheti az 50-60%-ot. Ha a célanyag nemesfém, ennek nyilvánvalóan nagy jelentősége van.
A mágneses pólussaruval ellátott mágnes elvét a koaxiális hengeres magnetron porlasztó célpontban a mágneses mező végének problémájának megoldására alkalmazva a téglalap alakú síkcél hengeres és sík alakú magnetron porlasztó célponttá alakítható, a cél maximalizálhatja a célpont kihasználtságát miközben megtartja a téglalap alakú síkcél jó bevonategyenletességét A gazdasági előnyök javítása érdekében.
Feladás időpontja: 2022-04-04