Amint azt mindannyian tudjuk, a porlasztó céltárgyaknak számos specifikációja létezik, és alkalmazási területük is nagyon széles.A különböző területeken általánosan használt céltípusok is eltérőek.Ma ismerkedjünk meg a porlasztó célalkalmazási mezők osztályozásával az RSM szerkesztőjével!
1、 A porlasztó cél definíciója
A porlasztás a vékonyréteg-anyagok előállításának egyik fő technológiája.Az ionforrás által termelt ionokat arra használja fel, hogy felgyorsuljanak és vákuumban összegyűljenek, hogy nagy sebességű ionnyalábot képezzenek, bombázzák a szilárd felületet, és az ionok kinetikus energiát cseréljenek a szilárd felületen lévő atomokkal, így a szilárd anyagon lévő atomok A felületet elválasztják a szilárd anyagtól és lerakják az aljzat felületére.A bombázott szilárd anyag a porlasztással leválasztott vékony film elkészítésének alapanyaga, amelyet porlasztásos célpontnak nevezünk.
2、 A porlasztásos cél alkalmazási mezőinek osztályozása
1. Félvezető cél
(1) Közös célok: ezen a területen a közös célpontok közé tartoznak a magas olvadáspontú fémek, például a tantál / réz / titán / alumínium / arany / nikkel.
(2) Használat: főleg integrált áramkörök kulcsfontosságú nyersanyagaként használják.
(3) Teljesítménykövetelmények: magas műszaki követelmények a tisztaság, méret, integráltság stb.
2. Cél lapos képernyőhöz
(1) Közös célpontok: ezen a területen a gyakori célpontok közé tartozik az alumínium / réz / molibdén / nikkel / nióbium / szilícium / króm stb.
(2) Használat: ezt a fajta célpontot többnyire különféle típusú nagyfelületű filmekhez használják, mint például tévék és notebookok.
(3) Teljesítménykövetelmények: magas tisztasági követelmények, nagy terület, egyenletesség stb.
3. Célanyag napelemhez
(1) Általános célpontok: alumínium / réz / molibdén / króm / ITO / Ta és egyéb célpontok napelemekhez.
(2) Használat: főleg „ablakrétegben”, zárórétegben, elektródában és vezető fóliában használják.
(3) Teljesítménykövetelmények: magas műszaki követelmények és széles alkalmazási kör.
4. Cél információ tárolására
(1) Közös célok: a kobalt / nikkel / ferroötvözet / króm / tellúr / szelén és egyéb információtárolási anyagok közös célpontjai.
(2) Használat: ezt a fajta célanyagot elsősorban az optikai meghajtó és az optikai lemez mágneses fejéhez, középső rétegéhez és alsó rétegéhez használják.
(3) Teljesítménykövetelmények: nagy tárolási sűrűség és nagy átviteli sebesség szükséges.
5. Cél a szerszám módosításához
(1) Közös célpontok: olyan gyakori célok, mint például a titán/cirkónium/króm-alumínium ötvözet, amelyet szerszámokkal módosítottak.
(2) Használat: általában felületerősítésre használják.
(3) Teljesítménykövetelmények: magas teljesítménykövetelmények és hosszú élettartam.
6. Célpontok elektronikus eszközökhöz
(1) Közös célok: általános alumíniumötvözet/szilicid célpontok elektronikus eszközökhöz
(2) Cél: általában vékonyréteg-ellenállásokhoz és kondenzátorokhoz használják.
(3) Teljesítménykövetelmények: kis méret, stabilitás, alacsony ellenállási hőmérsékleti együttható
Feladás időpontja: 2022. július 27