Az elmúlt években az integrált áramkörök (IC) technológia fejlődésével az integrált áramkörök kapcsolódó alkalmazásai gyorsan fejlődtek.Az ultra nagy tisztaságú alumíniumötvözet porlasztásos célpont, mint az integrált áramköri fémösszekötők gyártása során alkalmazott támasztóanyag, a közelmúlt hazai kutatásainak felkapott témájává vált.az RSM szerkesztője megmutatja nekünk a nagy tisztaságú alumíniumötvözet porlasztási célpont jellemzőit.
A magnetron porlasztási célpont porlasztási hatékonyságának további javítása és a leválasztott filmek minőségének biztosítása érdekében számos kísérlet azt mutatja, hogy vannak bizonyos követelmények az ultranagy tisztaságú alumíniumötvözet porlasztó céltárgy összetételére, mikroszerkezetére és szemcse-orientációjára vonatkozóan.
A céltárgy szemcsemérete és szemcse orientációja nagy hatással van az IC filmek elkészítésére és tulajdonságaira.Az eredmények azt mutatják, hogy a lerakódási sebesség a szemcseméret növekedésével csökken;Az azonos összetételű porlasztó céltárgynál a kis szemcseméretű célpont porlasztási sebessége gyorsabb, mint a nagy szemcseméretű célponté;Minél egyenletesebb a céltárgy szemcsemérete, annál egyenletesebb a lerakott filmek vastagságeloszlása.
Azonos porlasztóműszer és folyamatparaméterek mellett az Al Cu ötvözet céltárgy porlasztási sebessége az atomsűrűség növekedésével növekszik, de általában egy bizonyos tartományban stabil.A szemcseméret porlasztási sebességre gyakorolt hatása a szemcseméret változásával az atomsűrűség változásából adódik;A lerakódás sebességét főként az Al Cu ötvözet céltárgy szemcse orientációja befolyásolja.A (200) kristálysíkok arányának biztosítása alapján a (111), (220) és (311) kristálysíkok arányának növelése növeli a lerakódási sebességet.
Az ultra-nagy tisztaságú alumíniumötvözet céltárgyak szemcseméretét és szemcse-orientációját főként rúdhomogenizálással, melegmegmunkálással és átkristályosítási izzítással állítják be és szabályozzák.Az ostya méretének 20,32 cm-re (8 hüvelykre) és 30,48 cm-re (12 hüvelykre) történő fejlesztésével a célméret is növekszik, ami magasabb követelményeket támaszt az ultranagy tisztaságú alumíniumötvözetből készült porlasztó céltárgyakkal szemben.A film minőségének és hozamának biztosítása érdekében szigorúan ellenőrizni kell a megcélzott feldolgozási paramétereket, hogy a cél mikrostruktúra egységes legyen, és a szemcseorientáció erős (200) és (220) sík textúrájú legyen.
Feladás időpontja: 2022. június 30