A porlasztott molibdén céltárgyakat a benne rejlő előnyök miatt széles körben alkalmazzák az elektronikai iparban, a napelemekben, az üvegbevonatban és más területeken.A miniatürizálás, az integráció, a digitalizálás és az intelligencia modern technológiájának rohamos fejlődésével a molibdén céltárgyak felhasználása tovább növekszik, és a velük szemben támasztott minőségi követelmények is egyre magasabbak lesznek.Tehát módot kell találnunk a molibdén célpontok felhasználási arányának javítására.Az RSM szerkesztője most számos módszert mutat be a porlasztó molibdén céltárgyak felhasználási arányának javítására mindenki számára
1. Helyezzen be elektromágneses tekercset a hátoldalon
A porlasztott molibdén céltárgy kihasználtságának javítása érdekében a planáris Magnetron porlasztó molibdén céltárgy hátoldalára elektromágneses tekercset lehet hozzáadni, és a molibdén céltárgy felületén lévő mágneses teret növelni lehet az áramerősség növelésével. az elektromágneses tekercset, hogy javítsa a molibdén célpont felhasználási arányát.
2. Válassza ki a cső alakú forgó célanyagot
A lapos céltáblákhoz képest a cső alakú, forgó céltárgyszerkezet kiválasztása kiemeli annak lényeges előnyeit.A lapos céltáblák kihasználtsága általában csak 30-50%, míg a cső alakú forgócélok kihasználtsága elérheti a 80% feletti.Ezenkívül a forgó üreges cső Magnetron porlasztó céltárgy használatakor, mivel a célpont folyamatosan foroghat a rögzített rúdmágnes-szerelvény körül, nem lesz újra lerakódás a felületén, így a forgó céltárgy élettartama általában több mint 5-ször hosszabb. mint a repülőgép célpontja.
3. Cserélje ki új porlasztó berendezésre
A célanyagok felhasználási arányának javításának kulcsa a porlasztóberendezések cseréjének befejezése.A molibdén porlasztó célanyag porlasztási folyamata során a porlasztó atomok körülbelül egyhatoda lerakódik a vákuumkamra falára vagy konzoljára, miután hidrogénionok érik őket, ami növeli a vákuumberendezés tisztításának költségeit és az állásidőt.Tehát az új porlasztóberendezések cseréje segíthet a porlasztó molibdén céltárgyak felhasználási arányának javításában is.
Feladás időpontja: 2023. május 24