Most már nagyon jól ismerjük a célt, most a célpiac is növekszik, az alábbiakban az RSM szerkesztője által megosztott porlasztási cél fő teljesítménye
A tisztaság
A célanyag tisztasága az egyik fő teljesítménymutató, mivel a célanyag tisztasága nagyban befolyásolja a vékonyréteg teljesítményét.A gyakorlati alkalmazásban azonban a célanyagok tisztasági követelményei nem azonosak.Például a mikroelektronikai ipar gyors fejlődésével a szilícium chip mérete 6", 8"-ról 12"-re nőtt, és a vezetékek szélessége 0,5 um-ról 0,25 um-ra, 0,18 um-ra vagy akár 0,13 um-ra csökkent.Korábban a célanyag 99,995%-os tisztasága megfelelt a 0,35 umIC technológiai követelményeinek.A célanyag tisztasága 99,999%, vagy akár 99,9999% 0,18 um vonalak készítéséhez.
Szennyeződés tartalom
A filmlerakódás fő szennyező forrásai a célanyagban lévő szennyeződések, valamint a pórusokban lévő oxigén és vízgőz.A különböző célú célanyagok eltérő szennyezőanyag-tartalommal szemben eltérő követelményeket támasztanak.Például a félvezetőiparban használt tiszta alumínium és alumíniumötvözet céltárgyak speciális követelményeket támasztanak az alkálifém- és radioaktív elemek tartalmára vonatkozóan.
A sűrűség
A cél szilárd anyag porozitásának csökkentése és a porlasztófólia teljesítményének javítása érdekében általában a céltárgy nagy sűrűségére van szükség.A célpont sűrűsége nemcsak a porlasztási sebességet, hanem a fólia elektromos és optikai tulajdonságait is befolyásolja.Minél nagyobb a célsűrűség, annál jobb a film teljesítménye.Ezen túlmenően, a célpont sűrűségének és szilárdságának növelésével a célpont jobban ellenáll a porlasztási folyamatban fellépő hőterhelésnek.A sűrűség a cél egyik kulcsfontosságú teljesítménymutatója is.
Szemcseméret és szemcseméret-eloszlás
A cél általában polikristályos, a szemcseméret mikrométertől milliméterig terjed.Ugyanennél a célnál a kis szemcsés célpont porlasztási sebessége gyorsabb, mint a nagy szemcsés célponté.A kisebb szemcseméret-különbséggel (egyenletes eloszlású) porlasztással leválasztott filmek vastagságeloszlása egyenletesebb.
Feladás időpontja: 2022-04-04