Az adattároló iparban használt célanyag nagy tisztaságot igényel, és minimálisra kell csökkenteni a szennyeződéseket és a pórusokat, hogy elkerüljük a porlasztás során szennyező részecskék képződését.A kiváló minőségű termékekhez használt célanyag megköveteli, hogy kristályszemcsemérete kicsi és egyenletes legyen, és ne legyen kristályorientált.Az alábbiakban nézzük meg, milyen követelményeket támaszt az optikai tárolóipar a célanyaggal szemben?
1. Tisztaság
A gyakorlati alkalmazásokban a célanyagok tisztasága a különböző iparágak és követelmények szerint változik.Összességében azonban minél nagyobb tisztaságú a célanyag, annál jobb a porlasztott film teljesítménye.Például az optikai tárolóiparban a célanyag tisztaságának 3N5-nél vagy 4N-nál nagyobbnak kell lennie.
2. Szennyeződéstartalom
A célanyag katódforrásként szolgál a porlasztásban, és a szilárd anyagban lévő szennyeződések, valamint a pórusokban lévő oxigén és vízgőz a fő szennyező források a vékonyrétegek lerakódásához.Ezenkívül speciális követelmények vonatkoznak a különböző felhasználású célpontokra.Az optikai tároló ipart példának vesszük, a porlasztási céltárgyak szennyezőanyag-tartalmát nagyon alacsonyra kell szabályozni a bevonat minőségének biztosítása érdekében.
3. Szemcseméret és méreteloszlás
Általában a célanyag polikristályos szerkezetű, szemcsemérete mikrométertől milliméterig terjed.Az azonos összetételű céltárgyaknál a finomszemcsés céltárgyak porlasztási sebessége gyorsabb, mint a durvaszemcsés céloké.Kisebb szemcseméret-különbséggel rendelkező céltárgyaknál a lerakódott filmvastagság is egyenletesebb lesz.
4. Kompaktság
A szilárd célanyag porozitásának csökkentése és a film teljesítményének javítása érdekében általában szükséges, hogy a porlasztó célanyag nagy sűrűségű legyen.A célanyag sűrűsége elsősorban az előkészítési folyamattól függ.Az olvasztással és öntéssel előállított célanyag biztosítja, hogy a célanyagon belül ne legyenek pórusok, és a sűrűség nagyon magas legyen.
Feladás időpontja: 2023.07.18