A tűzálló wolfram és volfrámötvözetek magas hőmérsékleti stabilitása, nagy elektronmigrációs ellenállása és nagy elektronemissziós együtthatója miatt a nagy tisztaságú volfrám és volfrámötvözet céltárgyakat főként félvezetők kapuelektródáinak, csatlakozóvezetékeinek, diffúziós gátrétegeinek stb. integrált áramkörök, és magas követelményeket támasztanak az anyagok tisztaságával, szennyezőelem-tartalmával, sűrűségével, szemcseméretével és szemcseszerkezeti egységességével szemben.Most pedig nézzük meg azokat a tényezőket, amelyek befolyásolják a nagy tisztaságú wolfram céltárgy elkészítését.
1、 A szinterezési hőmérséklet hatása
A wolfram célembrió formálási folyamata általában hideg izosztatikus préseléssel történik.A volfrámszemcsék a szinterezési folyamat során megnőnek.A volfrámszemcse növekedése kitölti a szemcsehatárok közötti rést, így javítva a volfrám célpont sűrűségét.A szinterezési idők növekedésével a volfrám célsűrűségének növekedése fokozatosan lelassul.Ennek fő oka az, hogy többszöri szinterezés után a wolfram céltárgy minősége nem sokat változott.Mivel a szemcsehatáron lévő üregek többsége volfrámkristályokkal van megtöltve, minden szinterezés után a volfrám céltárgy teljes méretváltozási sebessége nagyon kicsi volt, ami korlátozott helyet eredményez a wolfram céltárgy sűrűségének növelésére.A szinterezési eljárás során a megnövekedett volfrámszemcsék feltöltődnek az üregekbe, így kisebb szemcseméret mellett nagyobb a célpont sűrűsége.
2、 A tartási idő hatása
Ugyanezen a szinterezési hőmérsékleten a wolfram célpont tömörsége javul a szinterezési tartási idő meghosszabbodásával.A tartási idő meghosszabbodásával a volfrám szemcsemérete nő, a tartási idő meghosszabbodásával pedig a szemcseméret növekedési ideje fokozatosan lelassul, ami azt jelenti, hogy a tartási idő növelése javíthatja a volfrám teljesítményét is. wolfram célpont.
3、 A görgetés hatása a céltulajdonságokra
A wolfram célanyag sűrűségének javítása és a volfrám célanyag feldolgozási szerkezetének elérése érdekében a volfrám célanyag közepes hőmérsékletű hengerlését az átkristályosítási hőmérséklet alatt kell végrehajtani.Ha a megcélzott tuskó hengerlési hőmérséklete magas, akkor a cél tuskó szálszerkezete durva lesz, és fordítva.Amikor a meleghengerlési sebesség eléri a 95%-ot.Bár a szálszerkezetben a különböző eredeti szemcsék vagy a különböző hengerlési hőmérsékletek okozta különbség megszűnik, a céltárgy belső szerkezete viszonylag egységes szálszerkezetet fog kialakítani, így minél nagyobb a meleghengerlés feldolgozási sebessége, annál jobb a célpont teljesítménye.
Feladás időpontja: 2023.02.15