A vákuumbevonat a párolgási forrás vákuumban vagy gyorsított ionbombázással történő felmelegítését és elpárologtatását jelenti, majd a szubsztrátum felületére történő felhordását egy- vagy többrétegű film kialakítására.Mi a vákuumbevonat elve?Ezután az RSM szerkesztője mutatja be nekünk.
1. Vákuumos párologtató bevonat
A párolgásos bevonat megköveteli, hogy a párolgási forrástól és a bevonandó szubsztrátumtól a gőzmolekulák vagy atomok közötti távolság kisebb legyen, mint a maradék gázmolekulák átlagos szabad útja a bevonó helyiségben, így biztosítva, hogy a gőzmolekulák a párolgás ütközés nélkül elérheti az aljzat felületét.Győződjön meg arról, hogy a film tiszta és szilárd, és a párolgás nem oxidálódik.
2. Vákuumos porlasztó bevonat
Vákuumban, amikor a felgyorsult ionok ütköznek a szilárd anyaggal, egyrészt a kristály sérül, másrészt ütköznek a kristályt alkotó atomokkal, végül a szilárd anyag felszínén lévő atomokkal vagy molekulákkal. fröcsköl kifelé.A porlasztott anyagot az aljzatra bevonják, hogy vékony filmet képezzenek, amit vákuumporlasztásnak neveznek.Sok porlasztási módszer létezik, ezek közül a diódaporlasztás a legkorábbi.A különböző katódcélok szerint egyenáramra (DC) és nagyfrekvenciára (RF) osztható.A célfelületre ionnal való ütközéssel porlasztott atomok számát porlasztási sebességnek nevezzük.A nagy porlasztási sebesség mellett a filmképződés sebessége gyors.A porlasztási sebesség az ionok energiájától és típusától, valamint a célanyag típusától függ.Általánosságban elmondható, hogy a porlasztási sebesség az emberi ionenergia növekedésével növekszik, és a nemesfémek porlasztási sebessége magasabb.
Feladás időpontja: 2022. július 14