A porlasztott célanyagok felhasználása során magas követelményeket támasztanak, nemcsak a tisztaságra és a szemcseméretre, hanem az egyenletes szemcseméretre is.Ezek a magas követelmények arra késztetnek bennünket, hogy jobban odafigyeljünk a porlasztó célanyagok használatakor.
1. Porlasztás előkészítése
Nagyon fontos a vákuumkamra, különösen a porlasztórendszer tisztaságának megőrzése.A kenőanyagok, a por és a korábbi bevonatok bármilyen maradványa felhalmozódhat szennyező anyagokat, például vizet, közvetlenül befolyásolva a vákuumot, és növelve a filmképződés meghibásodásának valószínűségét.A rövidzárlatokat, a cél ívét, a durva filmképző felületeket és a túlzott vegyi szennyeződéseket általában a tisztátalan porlasztókamrák, fegyverek és céltáblák okozzák.
A bevonat összetételi jellemzőinek megőrzése érdekében a porlasztógáznak (argon vagy oxigén) tisztának és száraznak kell lennie.A szubsztrátum porlasztókamrába történő beépítése után levegőt kell elszívni a folyamathoz szükséges vákuumszint eléréséhez.
2. Céltisztítás
A céltárgy tisztításának célja, hogy eltávolítson minden port vagy szennyeződést, amely a céltárgy felületén található.
3. Céltelepítés
A célanyag beépítése során a legfontosabb, hogy figyelni kell a célanyag és a porlasztópisztoly hűtőfala közötti jó hőkapcsolat biztosítására.Ha a hűtőfal vagy a hátlap erősen meg van vetemedve, az repedést vagy elhajlást okozhat a célanyag beszerelése során.A hőátadás a hátsó céltárgyról a célanyagra nagymértékben megváltozik, ami azt eredményezi, hogy a porlasztás során képtelen lesz a hő elvezetésére, ami végül a célanyag megrepedéséhez vagy elhajlásához vezet.
4. Rövidzárlat és tömítés ellenőrzése
A célanyag beszerelése után ellenőrizni kell a teljes katód rövidzárlatát és tömítését.Javasoljuk, hogy egy ohmmérőt és egy megohmmérőt használjon annak meghatározására, hogy a katód rövidzárlatos-e.Miután megbizonyosodott arról, hogy a katód nincs rövidre zárva, szivárgásérzékelés végezhető úgy, hogy vizet fecskendeznek a katódba, hogy megállapítsák, van-e szivárgás.
5. Célanyag porlasztás előtt
A célanyag előporlasztásához ajánlott tiszta argongázt használni, amely megtisztíthatja a célanyag felületét.Javasoljuk, hogy a célanyag előporlasztási folyamata során lassan növelje a porlasztási teljesítményt.A kerámia célanyag ereje
Feladás időpontja: 2023.10.19