A különböző szakmákban a célanyag széleskörű felhasználása egyre magasabbra teszi a célanyag iránti keresletet.A következő Mi fogunk röviden bemutatni te mik a cél elsődleges funkcionális követelményei, ugrásing neked segíteni.
Tisztaság: A tisztaság a céltárgy egyik elsődleges funkcionális mutatója, mivel a céltárgy tisztasága nagy hatással van a film funkciójára.De a gyakorlatban a célanyag tisztasága nem ugyanaz.Például a mikroelektronikai szakma gyors növekedésével a szilíciumlapka mérete 6", 8"-ról 12"-re nőtt, és a vezetékek szélessége 0,5 um-ról 0,25 um-ra, 0,18 um-ra, sőt 0,13 um-ra csökkent.Ha egyszer a megcélzott tisztaság 99,995%-a megfelel a 0,35 UMIC technológiai követelményeinek.A 0,18 um-es vonal elkészítéséhez a célanyag 99,999%-os vagy akár 99,9999%-os tisztasága szükséges.
Sűrűség: A cél szilárd anyag porozitásának csökkentése és a porlasztófilm funkciójának javítása érdekében a céltárgynak általában nagy sűrűséggel kell rendelkeznie.A célsűrűség nemcsak a porlasztási sebességet, hanem a fóliák elektromos és optikai tulajdonságait is befolyásolja.Minél nagyobb a célsűrűség, annál jobb a film funkciója. Ezen kívül a célanyag sűrűségét és szilárdságát növeltük, hogy jobban ellenálljon a porlasztás során fellépő hőterhelésnek.A sűrűség a célanyagok egyik fontos funkcionális mutatója is.
Szennyezőanyag-tartalom: a célanyagban lévő szennyeződések, valamint a pórusokban lévő oxigén- és vízgőz a felhalmozódott filmek elsődleges szennyező forrásai. A különböző célú célanyagok eltérő szennyezőanyag-tartalommal szemben eltérőek.Például a félvezetőiparban használt tiszta alumínium és alumíniumötvözet céltárgyakra speciális követelmények vonatkoznak az alkálifém-tartalomra és a radioaktív elemtartalomra.
Feladás időpontja: 2022-06-06