A célnak számos funkciója van, és számos területen széles körű alkalmazásai vannak.Az új porlasztó berendezés szinte erős mágneseket használ az elektronok spirálozására, hogy felgyorsítsa az argon ionizációját a célpont körül, ami növeli a célpont és az argonionok ütközésének valószínűségét,
Növelje a porlasztási sebességet.Általában az egyenáramú porlasztást fémbevonatokhoz, míg az RF kommunikációs porlasztást nem vezető kerámia mágneses anyagokhoz használják.Az alapelv az, hogy izzító kisüléssel vákuumban eltalálják az argon (AR) ionokat a céltárgy felületén, és a plazmában lévő kationok felgyorsulnak, hogy kifröccsenő anyagként a negatív elektród felületére rohanjanak.Ez az ütközés hatására a céltárgy anyaga kirepül, és lerakódik az aljzatra, és filmet képez.
Általánosságban elmondható, hogy a porlasztásos eljárást alkalmazó filmbevonatnak számos jellemzője van:
(1) Fémből, ötvözetből vagy szigetelőből vékony film adatot lehet készíteni.
(2) Megfelelő beállítási körülmények között az azonos összetételű film több és rendezetlen célpontból is készíthető.
(3) A célanyag és a gázmolekulák keveréke vagy vegyülete a kisülési légkörbe oxigén vagy más aktív gáz hozzáadásával állítható elő.
(4) A cél bemeneti áram és a porlasztási idő szabályozható, és könnyű elérni a nagy pontosságú filmvastagságot.
(5) Előnyös más filmek gyártásához.
(6) A porlasztott részecskéket a gravitáció alig befolyásolja, a célpont és a szubsztrát szabadon rendezhető.
Feladás időpontja: 2022. május 24