A cél széles piaccal, alkalmazási területtel és nagy fejlesztésekkel rendelkezik a jövőben.A célfunkciók jobb megértése érdekében az alábbiakban az RSM mérnöke röviden bemutatja a cél fő funkcionális követelményeit.
Tisztaság: a tisztaság a céltárgy egyik fő funkcionális mutatója, mert a céltárgy tisztasága nagy hatással van a film funkciójára.A gyakorlati alkalmazásban azonban a céltárgy tisztasági követelményei is eltérőek.Például a mikroelektronikai ipar gyors fejlődésével a szilícium lapka mérete 6 „8”-ról 12-re nő, a vezetékek szélessége pedig 0,5 um-ról 0,25 um-ra, 0,18 um-ra vagy akár 0,13 um-ra csökken.Korábban a megcélzott tisztaság 99,995%-a képes megfelelni a 0,35 um-os eljárási követelményeknek, míg a 0,18 um-es vonalak elkészítéséhez a megcélzott tisztaság 99,999%-a vagy akár 99,9999%-a szükséges.
Szennyezőanyag-tartalom: a lerakódott filmek fő szennyező forrásai a megcélzott szilárd anyagok szennyeződései, valamint a pórusokban lévő oxigén és vízgőz.A különböző célokat szolgáló céltárgyak eltérő követelményeket támasztanak a különböző szennyezőanyag-tartalommal szemben.Például a félvezetőiparban használt tiszta alumínium és alumíniumötvözet céltárgyakra speciális követelmények vonatkoznak az alkálifémtartalomra és a radioaktív elemtartalomra.
Sűrűség: a cél szilárd anyag pórusainak csökkentése és a porlasztófilm funkciójának javítása érdekében a célnak általában nagy sűrűségűnek kell lennie.A célpont sűrűsége nemcsak a porlasztási sebességet, hanem a film elektromos és optikai funkcióit is befolyásolja.Minél nagyobb a célsűrűség, annál jobb a film funkciója.Ezen túlmenően a céltárgy sűrűsége és szilárdsága javul, hogy a célpont jobban tudja fogadni a hőterhelést a porlasztási folyamatban.A sűrűség a cél egyik legfontosabb funkcionális mutatója is.
Feladás időpontja: 2022. május 20