A félvezetőipar gyakran látja a célanyagok kifejezést, amelyek ostyaanyagokra és csomagolóanyagokra oszthatók.A csomagolóanyagok technikai akadályai viszonylag alacsonyak az ostyagyártáshoz képest.Az ostyák gyártási folyamata elsősorban 7 féle félvezető anyagot és vegyszert foglal magában, köztük egyfajta porlasztó célanyagot.Tehát mi a célanyag?Miért olyan fontos a célanyag?Ma arról fogunk beszélni, hogy mi a célanyag!
Mi a célanyag?
Egyszerűen fogalmazva, a célanyag az a célanyag, amelyet nagy sebességű töltött részecskék bombáznak.Különböző célanyagok (például alumínium, réz, rozsdamentes acél, titán, nikkel céltárgyak stb.) cseréjével különböző filmrendszerek (például szuperkemény, kopásálló, korróziógátló ötvözet fóliák stb.) nyerhetők.
Jelenleg a (tiszta) porlasztó célanyagok a következőkre oszthatók:
1) Fémcélok (tiszta fém alumínium, titán, réz, tantál stb.)
2) Ötvözetcélok (nikkel-krómötvözet, nikkel-kobaltötvözet stb.)
3) Kerámiavegyület célpontok (oxidok, szilicidek, karbidok, szulfidok stb.).
Különböző kapcsolók szerint felosztható: hosszú céltábla, négyzet alakú és kör alakú céltábla.
Különböző alkalmazási területek szerint felosztható: félvezető chip-célpontok, lapos kijelző-célpontok, napelem-célpontok, információtároló célpontok, módosított célok, elektronikus eszközök célpontjai és egyéb célok.
Ha ezt megnézi, meg kellett volna értenie a nagy tisztaságú porlasztó céltárgyakat, valamint a fémcélpontokban használt alumíniumot, titánt, rézt és tantált.A félvezető lapkák gyártásában általában az alumínium eljárás a fő módszer a 200 mm-es (8 hüvelyk) és az alatti ostyák gyártásához, és a felhasznált célanyagok elsősorban alumínium és titán elemek.300 mm-es (12 hüvelykes) lapkagyártás, többnyire fejlett réz összekapcsolási technológiával, főként réz és tantál céltárgyak felhasználásával.
Mindenkinek meg kell értenie, mi a célanyag.Összességében a chip-alkalmazások bővülésével és a forgácspiac növekvő keresletével minden bizonnyal növekedni fog a kereslet az iparág négy fő vékonyrétegű fémanyaga, nevezetesen az alumínium, a titán, a tantál és a réz iránt.És jelenleg nincs más megoldás, ami helyettesítheti ezt a négy vékonyrétegű fémanyagot.
Feladás időpontja: 2023.06.06